在线式等离子清洗机是一种高效、节能、环保的清洗设备,广泛应用电子、光电、半导体等行业,在生产制造中起着重要作用。今天为大家介绍如何选择适合自己的在线式等离子清洗机。
1、等离子清洗的定义
等离子清洗是利用等离子体的高能粒子和辐射作用,对表面的有机物、无机物、金属氧化物等进行去除的一种清洗方式。通过气体放电产生等离子体,在高能的离子和自由基作用下,将污染物分解成小分子或离子,从而达到清洗的目的。
2、等离子清洗的优点
(1)清洗效率高等离子清洗能够有效地去除表面的有机物、无机物和金属氧化物等,清洗效率高。
(2)清洗质量好等离子清洗能够将表面的污染物分解成小分子或离子,清洗质量好。
(3)清洗过程中不会产生二次污染等离子清洗过程中不需要任何溶剂和清洗剂,所以不会产生二次污染。
(4)节能、环保等离子清洗过程中不需要加热、增压等操作,节能环保。
3、在线等离子清洗机选型参数
清洗对象:需要考虑清洗对象的种类,了解产品适合的结构以及清洗方法。
清洗产量:需要考虑清洗产量的大小,整个设备需要完成多少量的产品。
价格因素:设备在设计时需要考虑价格,选择合适的配件来达到处理效果。
在选择适合自己的在线式等离子清洗机时,需要考虑设备的原理、应用领域、清洗效果、选型参数等因素。
在干法蚀刻中,气体受高频(主要为 13.56 MHz 或 2.45 GHz)激发。在 1 到 100 Pa 的压力下,其平均自由程为几毫米到几厘米。
主要有三种类型的干法蚀刻:
• 物理干法蚀刻:加速粒子对晶圆表面的物理磨损
• 化学干法蚀刻:气体与晶圆表面发生化学反应
• 化学物理干法蚀刻:具有化学特性的物理蚀刻工艺
1.离子束蚀刻
离子束蚀刻 (Ion beam etch) 是一种物理干法蚀刻工艺。由此,氩离子以约1至3keV的离子束辐射到表面上。由于离子的能量,它们会撞击表面的材料。晶圆垂直或倾斜入离子束,蚀刻过程是绝对各向异性的。选择性低,因为其对各个层没有差异。气体和被打磨出的材料被真空泵排出,但是,由于反应产物不是气态的,颗粒会沉积在晶片或室壁上。
为避免颗粒,将第二种气体引入腔室。该气体与氩离子发生反应并引起物理化学蚀刻过程。部分气体与表面反应,但也与打磨出的颗粒反应形成气态副产物。几乎所有材料都可以用这种方法蚀刻。由于垂直辐射,垂直壁上的磨损非常低(高各向异性)。然而,由于低选择性和低蚀刻速率,该工艺在当今的半导体制造中很少使用。
2.等离子刻蚀
等离子刻蚀(Plasma etch)是一种绝对化学刻蚀工艺(化学干法刻蚀,Chemical dry etch)。优点是晶圆表面不会被加速离子损坏。由于蚀刻气体的可移动颗粒,蚀刻轮廓是各向同性的,因此该方法用于去除整个膜层(如热氧化后的背面清洁)。
一种用于等离子体蚀刻的反应器类型是下游反应器。从而通过碰撞电离在2.45GHz的高频下点燃等离子体,碰撞电离的位置与晶片分离。
在气体放电区域,由于冲击存在各种颗粒,其中有自由基。自由基是具有不饱和电子的中性原子或分子,因此非常活泼。作为中性气体,例如四氟甲烷CF4被引入气体放电区并分离成CF2和氟分子F2。类似地,氟可以通过添加氧气 O2 从 CF4 中分离出来:
2 CF4 + O2 ---> 2 COF2 + 2 F2
氟分子可以通过气体放电区的能量分裂成两个单独的氟原子:每个氟原子都是一个氟自由基,因为每个原子都有七个价电子,并希望实现惰性气体构型。除了中性自由基之外,还有几个部分带电的粒子(CF+4、CF+3、CF+2、...)。然后,所有粒子、自由基等都通过陶瓷管进入蚀刻室。带电粒子可以通过提取光栅从蚀刻室中阻挡或者在它们形成中性分子的途中重新组合。氟自由基也有部分重组,但足以到达蚀刻室,在晶圆表面发生反应并引起化学磨损。其他中性粒子不是蚀刻过程的一部分,并且与反应产物一样被耗尽。
蚀刻速率取决于压力、高频发生器的功率、工艺气体、实际气体流量和晶片温度。各向异性随着高频功率的增加、压力的降低和温度的降低而增加。蚀刻工艺的均匀性取决于气体、两个电极的距离以及电极的材料。如果距离太小,等离子体不能不均匀地分散,从而导致不均匀性。如果增加电极的距离,则蚀刻速率降低,因为等离子体分布在扩大的体积中。对于电极,碳已证明是首选材料。由于氟气和氯气也会攻击碳,因此电极会产生均匀的应变等离子体,因此晶圆边缘会受到与晶圆中心相同的影响。
华中科技大学是国家教育部直属重点综合性大学,由原华中理工大学、同济医科大学、武汉城市建设学院于2000年5月26日合并成立,是国家“211工程”重点建设和“985工程”建设高校之一,是首批“双一流”建设高校。
学校校园占地7000余亩,园内树木葱茏,碧草如茵,环境优雅,景色秀丽,绿化覆盖率72%,被誉为“森林式大学”。学校教学科研支撑体系完备,各项公共服务设施齐全。
学校学科齐全、结构合理,基本构建起综合性、研究型大学的学科体系。拥有哲学、经济学、法学、教育学、文学、理学、工学、医学、管理学、艺术学、交叉学科等11大学科门类;设有112个本科专业,48个硕士学位授权一级学科,46个博士学位授权一级学科,39个博士后科研流动站。现有一级学科国家重点学科7个,二级学科国家重点学科15个(内科学、外科学按三级计),国家重点(培育)学科7个。在教育部第四轮学科评估中,我校44个学科参评,全部上榜,其中机械工程、光学工程、生物医学工程、公共卫生与预防医学等4个学科进入A+,A类学科14个,B+及以上学科33个。9个学科入选国家第二轮“双一流”建设学科名单。
学校实施“人才兴校”战略,师资力量雄厚。现有专任教师3700余人,其中教授1400余人,副教授1400余人;教师中有院士19人,“973计划”项目首席科学家15人,重大科学研究计划项目首席科学家2人,国家重点研发计划项目首席科学家163人(其中包括国际合作科学家48人),国家级教学名师13人,国家百千万人才工程入选者43人。国家自然科学基金创新研究群体11个,教育部创新团队19个。
学校贯彻建设“学生、学者与学术的大学”的教育思想,秉承“育人为本、创新是魂、责任以行”的办学理念,坚持“一流教学一流本科”的建设目标,采取多种举措,深化教育教学改革,全面推进素质教育,构建和完善充满活力的创新人才培养体系。几十年来,70余万毕业生走向社会,遍布全球各行各业。
按照“应用领先、基础突破、协调发展”的科技发展方略,构建起了覆盖基础研究层、高新技术研究层、技术开发层三个层次的科技创新体系。建设有武汉光电国家研究中心、国家脉冲强磁场科学中心、精密重力测量研究设施和国家数字化设计与制造创新中心等国家重大科研基地,还拥有4个国家重点实验室、2个国家技术创新中心、1个国家产教融合创新平台、7个国家工程(技术)研究中心、1个国家临床医学研究中心、1个国家医学中心、2个国家专业实验室、1个“一带一路”联合实验室、6个科技部国家国际科技合作基地及一批省部级科研基地。
学校坚持“以服务求支持,在贡献中发展”的办学思路,学研产相结合,与地方政府、行业龙头企业建立紧密合作关系,通过设立驻外研究院、共建技术研究中心等方式开展校地校企科技合作,大力促进科技成果转化落地,为区域经济建设服务。
学校坚持开放式办学理念,积极开展全方位、多层次的国际交流与合作,目前已与世界上41个国家和地区的300余所高校和机构开展友好合作。工程科学学院是全国首批四个国际化示范学院之一,中欧清洁与可再生能源学院被列为中欧建交40周年40个典型案例之一。
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华中科技大学正以创建世界一流大学为目标,秉持“明德、厚学、求是、创新”的校训,敢于竞争,善于转化,聚精会神,科学发展,全面提升办学水平,努力开创更加辉煌灿烂的明天。
很多人问我等离子清洗机能够清洗什么东西?今天简单的为大家解答下这个问题,等离子清洗能清洗什么东西?
等离子清洗可以清洗许多不同种类的物品,包括但不限于:
1、半导体器件:等离子清洗可以去除表面的有机物和无机物,减少有机污染物对器件的影响,提高器件的可靠性和性能。
2、光学元件:等离子清洗可以去除表面的有机物和微小颗粒,提高光学元件的透明度和光学性能。
3、生物医学器械:等离子清洗可以去除表面的细菌、病毒和其他有机污染物,提高生物医学器械的卫生程度和安全性。
4、金属制品:等离子清洗可以去除表面氧化物、锈蚀物和油污等,提高金属制品的表面光洁度和附着力。
5、高分子材料、汽车制造中的各种零部件等等。
等离子清洗除了清洗作用,也会对产品表面进行改性,经过低温等离子体改性处理后,材料表面微观结构与性能发生改变,包括表面化学成分、润湿性、表面微观结构等。
改性只发生在表面,范围在几埃到微米级,所以不会影响固有的性能,比如等离子清洗在整个封装工艺过程中的作用主要有防止包封分层、提高焊线质量、增加键合强度、提高可靠性以及提高良品率节约成本等。
真空等离子表面处理机(等离子清洗机)是等离子清洗机的一种类型,设备处理过程需要真空环境,所以被处理产品需要放入封闭处理环境中,并通过真空泵抽离内部气体,放入工艺气体,维持低压真空的状态,进行等离子辉光放应,处理产品,解决表面难题。
真空等离子表面处理机作用:
1、表面清洁:利用等离子体技术可以清除物体表面的污染物、氧化层、有机污染物等,使其表面变得干净,从而提高表面质量。
2、表面改性:等离子体可以在物体表面产生化学反应,改变表面物质的化学性质,从而改善其性能,如提高耐腐蚀性、粘接力、亲水性、耐磨性等。
3、表面涂层:利用等离子体技术可以在物体表面形成一层新的材料涂层,从而提高表面的耐磨性、耐腐蚀性、导电性等。
4、表面刻蚀:利用等离子体技术与物体进行反应,生产挥发性物质,让表面形成纹路、图案等。
真空等离子表面处理机的应用非常广泛,设计电子信息、半导体制造、医疗器械、汽车制造等等行业中,是出色的表面处理解决方案。
常压plasma就是常压等离子体(Atmospheric Pressure Plasma, APP),也称大气压等离子体或非热等离子体,是指在常压下产生的等离子体。常压等离子体技是一种新型的表面处理技术,相比于传统的低压等离子体技术,具有以下优势:
环保:常压等离子体在处理过程中不会产生有害物质,不会对环境造成污染。
低能耗:常压等离子体的能耗很低,只需通过电极产生电场即可启动等离子体反应,不需要加热等高耗能的过程。
安全可靠:常压等离子体的处理过程安全可靠,不会对人体和设备造成任何危害。
处理范围广:常压等离子体可以应用于食品加工、医疗卫生、环保等领域,在不同领域中具有广泛的应用前景。
处理温度低:常压等离子体技术中等离子体温相对较低,不会对材料表面造成过度热损伤,避免了传统热处理方法中可能会存在的一些问题。
处理效率高:常压等离子体技术中等离子体密度高,处理效率高,可用于多种材料表面的清洗、改性和合成等处理。
常压plasma解决了材料表面处理的难题,从清洗、活化、改性、刻蚀等多个方面提供了稳定的处理效果,普仕曼专研等离子表面处理行业十几年,是专业的等离子清洗机设备生产厂家。