在干法蚀刻中,气体受高频(主要为 13.56 MHz 或 2.45 GHz)激发。在 1 到 100 Pa 的压力下,其平均自由程为几毫米到几厘米。 主要有三种类型的干法蚀刻: • 物理干法蚀刻:加速粒子对晶圆表面的物理磨损 • 化学干法蚀刻:气体与晶圆表面发生...
很多人问我等离子清洗机能够清洗什么东西?今天简单的为大家解答下这个问题,等离子清洗能清洗什么东西? 等离子清洗可以清洗许多不同种类的物品,包括但不限于: 1、半导体器件:等离子清洗可以去除表面的有机物和无机物,减少有机污染物对器件的影响,提高器件的可靠性和性能。 2、光学元件:等离子清洗可...
真空等离子表面处理机(等离子清洗机)是等离子清洗机的一种类型,设备处理过程需要真空环境,所以被处理产品需要放入封闭处理环境中,并通过真空泵抽离内部气体,放入工艺气体,维持低压真空的状态,进行等离子辉光放应,处理产品,解决表面难题。 真空等离子表面处理机作用: 1、表面清洁:利用等离子体技术可以清...
常压plasma就是常压等离子体(Atmospheric Pressure Plasma, APP),也称大气压等离子体或非热等离子体,是指在常压下产生的等离子体。常压等离子体技是一种新型的表面处理技术,相比于传统的低压等离子体技术,具有以下优势: 环保:常压等离子体在处理过程中不会产生有害物...
汽车内饰件等离子处理方法是一种高效的表面处理工艺,可以去除汽车内饰件的表面污染物,同时带来表面改性、活化的效果;方法的核心在于等离子体,对于不同的内饰件,不同的处理需求,采用合适的等离子清洗机设备。 等离子处理方法具体步骤如下: 1、根据产品选择合适的等离子清洗机设备,排放在合适的位置; ...
在数字技术的快速进上海下使得信息、通信和娱乐融为一体,并对许多产品的要求有了一定程度上的提高。由于对设备的要求越来越精密化,而使用FPC等离子清洗机能够实现原子级工艺制造,又能使用得微电子器件的小型化成为可能,所以在这里明显体现出了它的优势。现在等离子清洗机的处理技术已逐渐成为线路板、半导体以及太阳...
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